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厭氧烘箱(無(wú)氧烘箱)
高溫?zé)o氧無(wú)塵烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、新材料涂膠鍍膜影印前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking),曝光、顯影后的堅(jiān)膜烘( Hard baking),PI聚酷酷胺等膠水的固化工藝,化、酸、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤,亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機(jī)構(gòu)。本設(shè)備內(nèi)部采用強(qiáng)制對(duì)流風(fēng)道,加熱控制系統(tǒng),配合無(wú)氧充氮控制系統(tǒng)及在線式氧含量分析系統(tǒng),結(jié)合耐高溫高效過(guò)濾HEPA(選配),確保工作室內(nèi)達(dá)到無(wú)氧無(wú)塵的潔凈防氧化環(huán)境。
產(chǎn)品特點(diǎn):
●外殼:采用1.2mm厚優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板噴塑處理,表面平整、耐刮傷,易清潔。
●內(nèi)膽:采用2.0~2.5mm厚SUS304# 鏡面不銹鋼材質(zhì)經(jīng)滿焊處理,箱內(nèi)光亮潔凈,密閉性極佳。
●管路:內(nèi)部管路采用無(wú)縫不銹鋼管件焊接處理,確保管路無(wú)漏氣滲透現(xiàn)象。
●氮?dú)饪刂疲弘p流量計(jì)節(jié)氮系統(tǒng),雙延時(shí)充氮控制,無(wú)氧、低氧環(huán)境下最大節(jié)省氮?dú)庀牧俊?/p>
●保溫層:內(nèi)部采用硅酸鋁巖棉保溫材料,防火、阻燃,采用人工填充,厚度80mm
●溫控器:采用日本富士智能PID溫度控制器,控溫精準(zhǔn),具傳感器斷線報(bào)警、超溫保護(hù),偏差修正等功能。
●溫度傳感器:采用進(jìn)口PT100鉑熱電阻(可選K型熱電偶),精度高,誤差小。
●電熱發(fā)生器:采用不銹鋼黑熱發(fā)生器,壽命長(zhǎng),安全穩(wěn)定,連續(xù)烘烤壽命>10000小時(shí)
●鼓風(fēng)裝置:采用大功率耐高溫長(zhǎng)軸馬達(dá),大口徑不銹鋼渦輪扇葉,可在高溫環(huán)境下長(zhǎng)期穩(wěn)定工作
●層架:內(nèi)部蛇腹層架結(jié)構(gòu),層板高度可任意調(diào)節(jié),自由分配箱內(nèi)空間
●把手鉸鏈:采用鋅合金合頁(yè)鉸鏈,防爆安全把手,堅(jiān)固耐用,易開易關(guān),松緊可調(diào)。
●密封膠條:采用改性硅橡膠材質(zhì),可在高溫環(huán)境下長(zhǎng)期連續(xù)使用,耐老化,密封性極佳
●腳輪:配置4只高承重萬(wàn)象活動(dòng)輪,前輪帶剎車,方便移動(dòng)。
可選組件:
●程序升溫:溫度控制系統(tǒng)可升級(jí)為可編程多段曲線升溫。
●門控系統(tǒng):電磁鎖確保烘箱加熱過(guò)程箱門密閉
●風(fēng)門調(diào)節(jié)裝置:機(jī)械旋鈕式手動(dòng)風(fēng)門調(diào)節(jié)/自動(dòng)控制二者選一。
●氮?dú)鈨艋到y(tǒng):微型油水塵埃過(guò)濾組mini fulter,可對(duì)氮?dú)庥退?.1μm顆粒進(jìn)行過(guò)濾
●溫度監(jiān)測(cè)聯(lián)網(wǎng):可安裝溫度記錄儀,監(jiān)測(cè)、記錄、打印、聯(lián)網(wǎng)
●氧含量分析儀:可加配氧含量測(cè)試儀,記錄打印
設(shè)備型號(hào) | FO(C)-2 | FO(C)-3 | FO (C)-4 | FO(C)-5 | FO ( C)-2D | FO (C)-3D |
控溫范圍 | 50~250°C(最高可訂制500°C) | |||||
溫度分辨率 | 0.1℃ | |||||
溫度波動(dòng)度 | ±0.5°C | |||||
溫度均勻度 | ±1.5%(200C恒溫空載測(cè)試數(shù)據(jù)) | |||||
氧含量 | <10ppm | |||||
潔凈度(選配) | 選配 | |||||
內(nèi)寸(mm)W*D*H | 450*400*500 | 600*500*900 | 800*600*1000 | 800*600*1000 | (600*600*500)*2箱 | (400*400*400)*3箱 |
層架 | 2PCS | 4PCS | ||||
電源 | AC380V50HZ | |||||
功率 | 7KW | 11KW | 16KW | 18KW | 16KW | 18KW |
定時(shí)范圍 | 0~999H/M/S | |||||
送風(fēng)方式 | 單向水平送風(fēng) | |||||
升溫時(shí)間 | RT~250C約25min | |||||
控溫方式 | AD+PID | |||||
結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) | 單門,控制柜位于頂部 | 多倉(cāng),控制柜位于側(cè)面 | ||||
內(nèi)部材料 | SUS304# | |||||
外部材質(zhì) | 鋼板烤漆/拉絲或鏡面不銹鋼 | |||||
安全保護(hù)措施 | 1.接地保護(hù) 2.過(guò)載保護(hù) 3.相序保護(hù) 4.超溫保護(hù) 5.獨(dú)立限溫保護(hù) | |||||
選配 | 7寸觸摸屏HMI人機(jī)界面控制器(帶歷史曲線,USB轉(zhuǎn)存儲(chǔ)功能,配套PC端軟件及聯(lián)網(wǎng)端口);電磁門禁系統(tǒng)溫度校準(zhǔn),多點(diǎn)溫度監(jiān)控系統(tǒng),非標(biāo)訂制服務(wù) |